- силіціювання в тлійному розряді
- = іонне силіціюванняru\ \ [lang name="Russian"]силицирование в тлеющем разряде, ионное силицированиеen\ \ [lang name="English"]plasma siliconizing, ion siliconizing, glow discharge siliconizingde\ \ [lang name="German"]Plasmasilizierenfr\ \ \ [lang name="French"]siliciuration par bombardement ioniqueсиліціювання в умовах потужнострумового тлійного розряду між виробом (катодом) і анодом у газовому середовищі при тиску нижчому за атмосферний
Термінологічний Словник "Метали". - Москва-Запорожье: Мотор-Сич. 2005.